半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级,LSI(大规模集成电路)级,VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。
近几年来,智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气体市场需求量明显增长,电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解,我国在国产化方面取得可喜进展:国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局,高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束,高纯已成功打开。
电子气体主要包括:、、乙、化氢、硒化氢、、四氟化碳、化三氢、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化钨、六氟化硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.
其中六氟化硫、电子级、、磷烷使用较多。
气 气 高纯氙气 厂家分享混合气体的成分
混合气体的性质取决于组成气体的种类和成分。混合气体的成分有3种表示方法。
①容积成分:组成气体的分容积与混合气体的总容积之比,用ri表示
所谓分容积是指该组成气体在混合气体的温度和总压力下单独占有的容积。
②质量成分:组成气体的质量与混合气体的总质量之比,用wi表示
③摩尔成分:摩尔是物质的量单位。若一系统中所包含的基本单元(可以是原子、分子、离子、电子或其他粒子)数与0.012千克碳-12原子数 目相等,则该系统的物质的量为 1摩尔。组成气体的摩尔数与混合气体的总摩尔数之比,用xi表示
混合气体的性质
将混合气体看成一种纯物质时,常使用折合摩尔质量Μ和折合气体常数R混合气体的密度等于各组成气体在混合气体的总压力和温度下之密度与其容积成分的乘积之和。
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纯度:99.999%
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压力:10mpa、13.5mpa、13.5mpa
用途:电光源配气、激
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